营口金辰机械取得供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备专利，减少整体的工艺时间，提高产能

　　国家知识产权局信息显示，营口金辰机械股份有限公司取得一项名为“一种供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备”的专利，授权公告号CN 222411823 U，申请日期为2023年12月。

　　 专利摘要显示，本申请涉及一种供气管路及等离子体增强化学气相沉积设备，其包括腔体供气管路、氮气清洗管路、至少一路第一气体供应管路、至少一路第二气体供应管路以及至少两路氮气供应管路；所述第一气体供应管路和所述第二气体供应管路分别连通所述腔体供气管路，至少两路所述氮气供应管路连通所述腔体供气管路；至少一路所述氮气供应管路连通所述氮气清洗管，所述氮气清洗管路连通所述第一气体供应管路，该供气管路通过利用各工艺气体管路进行稳定供气的基础上，增设多路氮气供应管路，在镀膜结束后反应腔体需要破真空时，多路氮气供应管路可对PECVD设备的反应腔体进行快速充氮气动作，减少整体的工艺时间，提高产能。

　　 天眼查资料显示，营口金辰机械股份有限公司，成立于2004年，位于营口市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本13852.7478万人民币，实缴资本5666.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，营口金辰机械股份有限公司共对外投资了26家企业，参与招投标项目85次，知识产权方面有商标信息3条，专利信息274条，此外企业还拥有行政许可17个。