发布时间:2025-02-23 00:05 已有: 人阅读
国家知识产权局信息显示,深圳市昇维旭技术有限公司申请一项名为“半导体器件及其制作方法”的专利,公开号 CN 119403190 A,申请日期为 2024 年 6 月。 专利摘要显示,本公开是关于半导体技术领域,涉及一种半导体器件及其制作方法,该制作方法包括:在衬底上形成堆叠膜层,堆叠膜层包括沿竖直方向依次堆叠的第一导电层、第一绝缘层、第二导电层;堆叠膜层内形成有开口,在竖直方向上,开口贯穿第二导电层;形成第二绝缘层和第一牺牲层,第二绝缘层至少覆盖开口的侧壁,第一牺牲层位于第二绝缘层的表面;去除部分位于开口的底部的第一绝缘层;在具有第一牺牲层的开口内形成第二牺牲层;去除开口的底部剩余的第一绝缘层,以形成露出第一导电层的沟槽。本公开的制作方法可减少结构缺陷,提高产品电性能。 天眼查资料显示,深圳市昇维旭技术有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币,实缴资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市昇维旭技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目11次,知识产权方面有商标信息47条,专利信息83条,此外企业还拥有行政许可13个。 |