瀚天天成电子科技取得外延炉承载盘定位装置专利，减少人为因素造成碳化硅外延晶片质量差的概率

　　国家知识产权局信息显示，瀚天天成电子科技股份有限公司取得一项名为“一种外延炉承载盘定位装置”的专利，授权公告号 CN 222313382 U，申请日期为2023年12月。

　　 专利摘要显示，本实用新型公开 一种外延炉承载盘定位装 置，包括手柄、第一定位部、 第二定位部，第一定位部位 于第二定位部下方，第一定 位部用于与外延炉的旋转基 座接触匹配，第二定位部用 于与衬底承载盘接触匹配， 第一定位部与外延炉的旋转 基座接触定位的同时将衬底承载盘拨动至与第二定位部接触 以定位，从而实现衬底承载盘与外延炉的旋转基座同轴。通过 以外延炉的旋转基座为辅助，确保衬垫承载盘被拨动至正确位 置，减少人为因素造成碳化硅外延Wafer质量差的概率。

　　 天眼查资料显示，瀚天天成电子科技股份有限公司，成立于2011年，位于厦门市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本38819.2129万人民币，实缴资本38819.2129万人民币。通过天眼查大数据分析，瀚天天成电子科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目53次，知识产权方面有商标信息20条，专利信息66条，此外企业还拥有行政许可67个。