广东天域半导体取得具有上料检测功能的碳化硅外延生长进料设备专利，防止错混料发生

　　国家知识产权局信息显示，广东天域半导体股份有限公司取得一项名为“一种具有上料检测功能的碳化硅外延生长进料设备”的专利，授权公告号 CN 222313385 U，申请日期为 2024 年 5 月。

　　 专利摘要显示，本实用新型公开了一种具有上料检测功能的碳化硅外延生长进料设备，包括上料检测腔室、中间真空转移腔室和 MOCVD 反应腔室，上料检测腔室内设有晶片上料托盘、晶片搬运机械手、光学扫描仪、晶片托盘和托盘搬运机械手，光学扫描仪位于晶片托盘的正上方，晶片搬运机械手从晶片上料托盘取晶片、并将晶片翻转 180 度后放置在晶片托盘上，光学扫描仪对晶片托盘上的晶片 ID 进行扫描采集信息、并将采集的信息传送到 PC 端作信息对比。本实用新型可以对上料的晶片进行监控识别，通过光学扫描仪扫描产品上的 ID 信息，并传送信息至 PC 端，PC 端通过与储存的产品 ID 作对比，判断是否为同批次产品，防止错混料的发生，降低成本，提高生产效率和提升产品良率。

　　 天眼查资料显示，广东天域半导体股份有限公司，成立于2009年，位于东莞市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本36319.8011万人民币，实缴资本36319.8011万人民币。通过天眼查大数据分析，广东天域半导体股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目118次，知识产权方面有商标信息8条，专利信息109条，此外企业还拥有行政许可65个。