产越电子科技申请一种圆温度检测系统专利，精度更高

　　国家知识产权局信息显示，产越电子科技有限公司申请一项名为“一种圆温度检测系统”的专利，公开号CN 119354350 A，申请日期为2024年9月。

　　 专利摘要显示，本发明 公开了一种圆温度 检测系统；包括LC无源温度传感器和读 出单元，所述LC无源 温度传感器设有若 干个；所述LC无源温度 传感器中包括有一个螺旋电感器LS和一个传感电容器CS串 联；所述读出单元中包括有读出电感L0和阻抗分析仪；本发明 当LC无源温度传感器所处的晶圆表面的温度发生变化时，传感 器的电容和电阻会发生变化，从而导致传感器的阻抗发生变 化，阻抗分析仪通过远程监控和分析谐振频率值和最大阻抗值 的实部值来获得晶圆的表面温度；精度更高、响应时间更快、与 集成电路制造技术的兼容性更高、功耗更低、体积更小；晶圆温 度测量系统采用无线形式，不再需要在晶圆表面上连接电缆或 者导线，提高了测温的可靠性和灵活性。

　　 天眼查资料显示，产越电子科技有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本200万人民币，实缴资本110万人民币。通过天眼查大数据分析，产越电子科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目62次，知识产权方面有商标信息10条，专利信息33条。