中国电科：30台套SiC外延设备顺利发货

　　据中国电科官微消息，SiC外延设备是第三代半导体SiC器件制造的核心关键设备之一。装载着30台套SiC外延设备从中国电科48所园区顺利发货，这也是48所实现首次大规模批量发货。目前，该设备已成功出货百余台套，并在客户现场稳定运行。