宁波恒普取得晶圆进给料输送系统专利，提高晶圆镀膜效率

　　国家知识产权局信息显示，宁波恒普技术股份有限公司取得一项名为“一种晶圆进给料输送系统”的专利，授权公告号CN 222313287 U，申请日期为2024年1月。

　　 专利摘要显示，本实用新型公开一种晶圆进给料输送系统，涉及常压化学沉积技术领域，包括设备本体，设备本体内设置有晶圆搭载平台、机器人、晶圆冷却旋转平台、晶圆提升系统、主支撑板、第一直线导轨、第一驱动电机、晶圆加热组件、晶圆加热组件支撑和真空发生系统。本实用新型中的系统，通过设置高纯石英、Si或SiC的非金属材料层，防止晶圆受到污染；晶圆通过晶圆提升系统和第一直线导轨移出后，在晶圆加热组件下单独进行沉积；每块晶圆的沉积面一次性完成薄膜沉积，摆脱气体扩散和传输的限制沉积薄膜的厚度和质量均匀性表现更好采用高纯石英、机器人等运输措施，处于封闭系统中，隔绝人员对晶圆的污染，提高晶圆镀膜效率和设备集成度。

　　 天眼查资料显示，宁波恒普技术股份有限公司，成立于2011年，位于宁波市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本3000万人民币，实缴资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波恒普技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目25次，知识产权方面有商标信息6条，专利信息237条，此外企业还拥有行政许可9个。