上海新阳：ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中

　　上海新阳在互动表示，公司KrF光刻胶已批量化生产销售，ArF类光刻胶样品目前在国内晶圆制造企业验证中，EUV光刻胶尚在开发阶段。