中信证券:SSMB方案得到广泛关注 存在EUV光源换道超车的可能性

发布时间:2023-09-21 10:17 已有: 人阅读

  中信证券研报认为,近期SSMB方案得到广泛关注,存在EUV光源换道超车的可能性。从技术层面看,SSMB与同步辐射光源技术具有一定相似性,SSMB具备产业化验证条件。从供应链角度看,我国在同步辐射光源领域基础较好,在核心零部件自主可控的前提下,HEPS项目已完成光源出束。目前,SSMB方案已完成理论证明,项目建设有望提上日程。若SSMB方案商业化进展顺利,我国将在光刻机领域取得重大突破并推动国内先进制程领域发展。围绕SSMB主题,建议关注两条投资主线:项目基础设施供应商、光刻机关键零部件供应商。

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