通格微电路申请一种玻璃基板的通孔方法专利,保证基板厚度在通孔后的可靠性

发布时间:2025-02-19 05:22 已有: 人阅读

  国家知识产权局信息显示,湖北通格微电路科技有限公司申请一项名为“一种玻璃基板的通孔方法”的专利,公开号CN 119390356 A,申请日期为2024年10月。

   专利摘要显示,本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种玻璃基板的通孔方法,包括以下步骤:a)将玻璃基板进行双面磁控溅射镀耐酸保护层;b)将双面镀膜基板的双面依次进行光刻胶涂布、曝光和显影,形成mark标和预设孔;c)将经过步骤b)处理的基板进行退镀成型,并去除基板表面残留的光刻胶;d)将步骤c)处理的基板进行双面激光打孔处理;e)将经过步骤d)处理的基板进行蚀刻,使基板的激光打孔处形成所需规格的通孔f)将经过步骤e)处理的基板进行脱膜褪镀本发明利用双面镀层的保护,后续在通孔过程中玻璃不会减薄,保证基板厚度在通孔后的可靠性;且镀层还可以阻止玻璃在蚀刻过程中的凹点及划伤的新增与放大,提高了通孔器件的表观品质。

   天眼查资料显示,湖北通格微电路科技有限公司,成立于2022年,位于省直辖县级行政区划,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币,实缴资本12000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北通格微电路科技有限公司参与招投标项目8次,知识产权方面有商标信息23条,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可14个。

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